四探针测试仪/RTS-8

仪器功能：用于测试半导体材料电阻率及方块电阻/薄层电阻。

技术指标: 测量范围 电阻率10^-5～10⁵Ω.cm、方块电阻10^-4～10⁶Ω/□、电导率10^-5～10⁵s/cm、电阻10^-5～10⁵Ω；恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档、各档电流连续可调，数字电压表量程及表示形式000.00～199.99mV、分辨力10μV、输入阻抗>1000MΩ、精度±0.1%；四探针探头间距1±0.01mm、针间绝缘电阻≥1000MΩ、探针压力5～16牛顿。