透射电子显微镜

 

 

 

 

●仪器名称

 

透射电子显微镜

 

 

●主机型号

 

JEM-2100

 

 

●仪器参数

 

六硼化镧透射电镜

 

电子枪:六硼化镧型

 

分辨率:点分辨率:≤0.23nm 线分辨率:≤0.14nm

 

加速电压:最高加速电压200kV

 

放大倍数:50× —1,500,000×

 

物镜球差系数:≤1.0mm,色差系数:≤1.4mm,最小聚焦步长:≤1.5nm

 

束斑尺寸TEM模式:≥20nmEDS/NBD/CBD模式:≤1.0nm

 

相机长度: 80~2000mm

 

样品移动:X: ≤2mm Y: ≤2mmZ≤0.4mm

 

最大倾斜角:≥+35°

 

X射线能谱分析固体角:≥0.13sr

 

取出角:≥25°

 

扫描透射附件

 

明场分辨率:≤1.0nm

 

暗场分辨率:≤1.0nm

 

HAADF像分辨率:≤1.0nm

 

可采集明场像、暗场像和HAADF像、进行能谱的点、线、面分析

 

能谱仪(EDS):牛津公司X-Max65T

 

探测器:电制冷

 

探测器面积:65mm2

 

分辨率:≤133eVMn Ka线)

 

分辨元素范围:5B -U92

 

峰背比:≥18,000:1

 

数字化CCD相机:OSIS Tengra

 

像素尺寸:≥9 μm x 9 μm

 

视野范围:41 mm x 41 mm

 

分辨率:2048 x 2048 Pixel

 

耦合方式:21光纤耦合

 

 

●功能简介

 

透射电子显微镜(TEM)能够以电子束透过样品经过聚焦与放大产生物像,其分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数达几万~上百万倍,扫描透射附件则既有透射电子显微镜又有扫描电子显微镜的功能。透射电子显微镜是唯一的一种能同时观察空间频率空间(倒易空间) 和真实空间的仪器,可用来揭示宏观现象与介观和微观(原子尺度) 结构及组织间的关系。因此透射电镜除了进行样品的形貌观察、原子像(高空间分辨透射电子显微像)外,通过衍射可获得所选定的照射区域样品的衍射图形(SAED),研究其晶体结构;由于电子轰击样品可产生X射线,可进行所照射区的元素和成分分析(EDS);电子束经过样品,由于样品元素的不同,电子束经过不同的原子时,能量的损失不同,研究电子束照射区域的元素种类和成分分布(EELS),与EDS不同,该技术更适合于轻元素的探测,空间分辨率更高。

 

 

●共享状态

 

对外开放