X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) analysis），是分析研究样品表面成分的重要表征手段。利用X射线光子激发出物质表面原子内层电子或价电子并进行能量分析而获得的一种能谱。

       XPS不仅能探测样品表面的化学组成，还可确定除H和He以外周期表中所有元素化学状态，且灵敏度高，同时实验过程中对样品表面辐照损伤小，故在化学、材料科学及表面科学研究中被广泛应用。

      传统X射线光电子能谱的检测需在超高真空或高真空环境下（~1.33×10^-9）进行，无法获得样品表面实时动态的现场原位变化信息。

动态现场原位X射线光电子能谱（NAP-XPS）能够打破这一技术壁垒和限制，可以在接近常压的气氛和不同加热作用中，最大程度真实还原样品在反应状态下其表面元素化学状态及原子价态的动态现场原位变化过程。

仪器用途

1. 可提供接近真实反应过程中样品表面元素分子结构和原子价态方面的原位动态变化信息；

2. 可提供各种化合物的元素组成和相对含量、化学状态、分子结构、化学键方面的信息；

3. 可给出材料表面、微小区域和深度分布方面的信息。

仪器品牌及厂商

1. 仪器主要测试系统装置及部件由德国厂商SPECS公司供货；

2. 高温高压反应系统由中国台湾厂商鎧柏科技有限公司供货。

仪器性能指标

1. 测试系统性能指标

工作气压范围：25毫巴到超高真空（5x10^-8帕斯卡）；实时样品反应温度：600 K；X射线最大功率：1千瓦

X射线最小束斑：200微米；电子分析器主要参数：150毫米平均半径，9通道探测器，2级静电透镜

配置3级差分真空

NAP-XPS性能：在25毫巴气压下，银3d5/2峰分辨率（半高宽）为0.8eV时，峰强达到5千计数。

2. 反应系统性能指标

外延处理温度：＜2000K(H₂、He气氛下可到800K)，压力：20bar。