为营造浓厚的学术氛围，由材料科学与工程学院主办、智能材料党支部/柔性电子材料与智能系统团队承办的的“材智荟·大讲堂”讲坛，将邀请浙江大学胡欢博士为广大师生作学术报告。欢迎广大师生积极参加！

报告题目：面向下一代电子器件的基于原子力显微镜的纳米制造和测试技术

报告人：胡欢

报告时间：2025年10月16日14:30-16:00

报告地点：郑州大学南校区教7楼二楼会议室

报告人简介：

胡欢博士，浙江大学长聘副教授/博导。清华大学本科和硕士学位，美国伊利诺伊大学厄巴纳香槟校区(UIUC)博士学位，美国IBM沃森研究中心博士后。主要研究先进纳米制造技术，仿生学微纳米传感器和集成纳米技术的芯片实验室技术。他主持和参与了国家自然科学基金、浙江省自然科学基金、百度基金、美国国家自然科学基金、IBM研究中心等科研项目, 具有和多学科背景的研究人员合作进行交叉创新的丰富经历。已发表99篇同行评审论文在著名杂志如PNAS、Advanced Materials、 Nature Communications、Nanotechnology等。已申请29项美国专利(19项授权)和11项中国专利(8项授权)，其中2项发明已转化为科技初创公司。2023年获得中国发明协会“发明创业奖项目奖”铜奖。担任中国仪器仪表学会微纳器件与系统分会理、中国微米纳米技术学会微纳米测量与仪器分会理事、以及浙江省光学学会理事。

报告摘要：

二维材料异质结是下一代电子器件核心方向，但制备中材料自身缺陷（褶皱、裂纹）与界面缺陷（气泡、污染物、接触不均）难消除，严重制约器件性能。我将重点介绍团队近期开发的两项创新技术，解决上述问题提供了新的思路和方法：

一．纳米球探针技术：该技术利用氦离子注入单晶硅形成隆起，进而制备出光滑的空心纳米硅球作为探针。这种纳米球探针能够在几乎不损伤二维材料的前提下，将界面处的气泡和污染物“挤出”，从而显著提升二维材料的性能，包括形貌、光致发光（Photoluminescence, PL）以及拉曼光谱等特性，初步实验结果证明其在器件层面的应用潜力。

二.扫描焦耳热膨胀显微镜（SJEM）：该技术通过将热分布转换成竖直方向上的位移，能实现约10纳米空间分辨率二维材料异质结界面温度测量。通过将温度分布图像与形貌图像相结合，能精准判断二维材料异质结界面的缺陷类型，从而为优化二维材料异质结的制备工艺提供有力指导.我们进一步通过研发横向扫描焦耳膨胀热显微镜技术(L-SJEM)，将信噪比提升7倍，在竖直方向上的热膨胀位移检测极限降到了0.35 pm.

两项技术通过大幅减少缺陷与精准检测缺陷，为二维材料异质结研究助力。

材料科学与工程学院

智能材料党支部/柔性电子材料与智能系统团队

2025年10月10日