为开阔我院教师及研究生的学术视野，郑州大学机械与动力工程学院特邀请山东大学机械工程学院闫鹏教授开展“德和”大讲堂学术讲座。欢迎广大师生积极参加！

报告人：闫鹏 教授

时间：2025年9月19日上午

地点：学院五楼报告厅

题目：《压电驱动微纳运动系统设计与高性能伺服：关键技术与工程应用》

摘要：超精密伺服系统是微纳制造及电子信息装备等高端制造领域的关键环节，对我国集成电路产业、高端精密仪器以及宇航工程等战略科技领域意义重大。报告将介绍团队近期针对压电驱动微纳运动系统的设计方法和高动态高精度纳米伺服技术方面的研究进展，并重点介绍相关技术在国家大科学装置及集成电路设备等精密工程领域中的应用案例。

闫鹏，美国俄亥俄州立大学电气与计算机工程系博士。现任山东大学机械工程学院教授，博士导师, 机械电子学科带头人，机电研究所所长，山东大学微纳测控技术与智能精密仪器研究中心主任。先后入选国家青年特聘专家、科技部创新人才推进计划科技领军人才、国家重大人才工程领军人才。兼任国家标准委员会SAC/TC240委员，IEEE/ASME Transactions on Mechatronics、Mechanical Sciences等国际期刊编委，中国工程院院刊《Engineering》青年通讯专家，广东省微纳加工技术与装备重点实验室学术委员会委员等。回国前曾先后担任美国希捷科技资深技术专家和美国联合技术公司研究中心主任科学家等职。主要研究领域：纳米定位与纳米扫描、超精密光机电系统设计与控制、集成电路制造技术。近年来主持国家自然基金仪器专项、重点项目，科技部重大科学仪器开发专项课题，山东省自然基金重大基础研究计划等重点/重大类课题和国家级人才项目，相关成果应用于集成电路制造装备、国家大科学装置等国家科技战略领域，带领团队实现重大科技成果转化并孵化国家高新技术企业，面向半导体核心零部件领域提供微纳级测量与运动模组产品，已多轮次获得深创投等顶级机构增资。