载荷分辨率:50nN; 最大压痕或划痕载荷:>500mN;
位移分辨率:0.01nm; 最大压痕或划痕深度:>500mm;
框架刚度:10*E6N/m; 实时原位三维扫描成像;
硬度、弹性模量、加载曲线、接触刚度实时显示