扫描面积：100*100μm闭环扫描； 扫描速度：0-50行/秒；  

               工作模式：接触模式、轻敲模式；          

               测试能力：1.纳米尺度材料力学性能测试；

                         2.纳米尺度材料相形态表征；          

               附件功能：1.热台可加热到300摄氏度，温控精度0.1度；          

                         2.密封舱及液槽可实现在液态及气态下成像；          

                         3.单程实现纳米级的电学性能表征；          

                         4.优越的纳米刻蚀及操纵能力。