止推轴承:磁悬浮; 动态最小扭矩:2nN.M; 稳态最小扭矩:10nN.M;
最大扭矩:150mN.m; 扭矩分辨率:0.1nN.m; 最小频率:1.00E-07Hz;
最大频率:100Hz; 位移分辨率:10nrad; 法向/轴向力传感器:FRT;
最大法向力:50N; 法向力灵敏度:0.005N; 法向力分辨率:0.5mN